卡尔顿·格兰特·威尔森（CarltonGrantWillson，1939年5月30日－），美国化学家。1962年获加州大学伯克利分校化学学士学位，1969年获加州大学圣地亚哥分校有机化学硕士学位。1962年至1964年AerojetGen公司技术化学师，1965-1966年任教于费尔法克斯高中在1973年获伯克利分校博士学位。1974年，他成为在长滩州立大学助理教授，1976年至1978年任教于加州大学圣地亚哥分校。从1978年到1993年，他在IBM进行研究，在那里他是阿尔马登研究中心聚合物的研究和技术负责人。自1993年以来，他是得克萨斯大学奥斯汀分校的教授。他开发用于半导体工业的化工原料，例如液态晶体、非线性光学材料、光阻材料、光刻。20世纪80年代初他与让·弗雷谢和伊藤宏取得了一项突破性的进展，发展了一种光刻胶聚合物，这使通过光刻小于250纳米的结构来制造半导体芯片成为可能。198